该设备是汇成真空针对数码光电行业和其他光学行业镜片加工推出的新型真空镀膜设备，对准行业当前对手机、平板、车载等数码触控产品的屏幕视窗盖板、镜头视窗镜片，以及其他光学产品的真空膜层性能更高要求的解决方案。目标是显著提升AR（减反射膜）、滤光片、颜色膜等真空光学多层膜，颜色膜等装饰膜，AF(防指印或称AS防污染)膜层、超硬保护膜等功能薄膜的性能，增强加工稳定性，降低生产成本。
► 采用RF射频辅助低温反应磁控溅射镀膜方式
► 一站式解决精密多层膜、“AR+AF”、“9H”以上硬度的行业需求
► 宽泛的材料选择，齐全的薄膜类型
► 优异的膜层精度、硬度、抗擦伤性和附着性
► 天然的无残余应力特性
► 优越的加工稳定性、均匀性和重复性
► 友好的人机对话界面，“傻瓜机”级的操控性能
► 超高产率、超低能耗
“AR+9H ”意味着:
► 强光下清晰的屏幕视觉会始终如一
► 高分辨率手机摄影效果将一如始终
► 指纹识别芯片可在屏幕下任意位置
主要加工项目：
► Ar、滤光片、高反膜等真空光学多层膜，颜色膜、炫彩颜色膜等装饰膜；
► AF/AS膜、多层膜顶层的AF/AS膜、超硬保护膜等功能性薄膜；
► 附着性较低的合金、塑胶、氧化锆陶瓷等特殊材料为基体的各种膜类。
|
型号
|
HCAR-1212
|
HCAR-1818
|
|
尺寸
|
Φ1200x H1200mm
|
Φ1800x H1800mm
|
|
结构
|
立式单门，整体箱式布局
|
|
夹具系统
|
底部中心旋转公转夹具桶
|
|
排气系统
|
莱宝(或爱德华) 机械泵组 + 低温冷凝泵 + 磁悬浮涡轮分子泵
|
|
真空控制系统
|
真空控制器、皮宁及皮拉尼真空计
|
|
源系统
|
中频磁控溅射源（旋转阴极孪生圆柱靶）+ 射频离子源 + 多舟阻抗式蒸发源
|
|
充气系统
|
流量控制器及流量阀
|
|
膜厚控制系统
|
石英晶体膜厚控制系统
|
|
控制系统
|
工控电脑+触摸屏
|
|
注：我司可以按客户产品及特殊工艺要求订做
|